產品名稱：HMDS真空幹燥箱（高真空幹燥箱）

產品型號（hào）

BPZ-6060MS

BPZ-6090MS

BPZ-6060HV

BPZ-6090HV

產品（pǐn）特點

用途概述：

HMDS真空幹燥箱用於半導體晶（jīng）圓在（zài）進行（háng）HMDS預處理工藝（yì）中的幹燥，通過程序設定，使抽真空-通氮氣-抽真空-等實現自動控製，自動實現HMDS預處理工藝過程，用於光刻過程的塗膠（jiāo）工藝；

高真（zhēn）空幹燥箱（xiāng）可在潔淨環境下使用，滿足潔淨環境（jìng）下的高（gāo）真空，無塵生產（chǎn）工藝，半導體晶圓生產工（gōng）藝車（chē）間使用，用於半導體、電子、醫療衛生、儀器儀表等領域的無氧化幹燥工藝；

產品特點
● 采用智能觸摸屏控製，溫度、真空度、時間等（děng）直接設（shè）定，菜單（dān）式操作，操作維護方便；
● 工作室采用316不鏽鋼，更好耐酸堿腐蝕，確保產品經久耐用，便於清潔；
● 長方形真空室，使有效容（róng）積大，能充分利（lì）用空間；
● 彈性雙層鋼化玻璃門觀察（chá）工作室內物體，一目了然；
● 箱門閉合鬆緊可調節，整體成型的合成矽橡膠門封（fēng）圈，確保箱內高真空度；
● 增設超溫保護溫控口，有效的防止溫（wēn）度失控等（děng）安全問題；（選配（pèi））
● 低噪聲專業真空泵，真空控（kòng）製穩定可靠；（HMDS真空幹燥箱）
● 采（cǎi）用內膽加熱，箱體內（nèi）無任何電子元器件，無汙染，不易被腐蝕，使用更加安全；
● 采用超高真空泵，能夠保證箱體內真空度（dù）達1.0×10-4Pa；(高真空幹燥箱)
程序控製
● 程序控製（zhì）操作，可根據工藝需求設定加熱、真空度設（shè）定（dìng）、通氮、時間等參數（shù）實現（xiàn）自動程序控製，確保每批次烘烤一致性，降低產品的烘烤差異性；
● 具有485通訊接口，可以通過外置軟件程序實施查看設備運行狀況和程序運行狀況，保證設備一直運行在監（jiān）控當中；
技術參數（shù）

技術指標\型號（hào）	HMDS真空幹燥（zào）		高真空幹燥箱
	BPZ-6060MS	BPZ-6090MS	BPZ-6060HV	BPZ-6090HV
電源電（diàn）壓	AC220V 50HZ		AC220V 50HZ
輸入功率	3000W	3500W	3000W	3500W
控溫範（fàn）圍	RT+10~250℃		RT+10~200℃
溫（wēn）度分辨率/波動度	0.1℃ /±1℃		0.1℃ /±1℃
達到真（zhēn）空（kōng）度（dù）	100Pa		1.0×10-4Pa極限真空度
真空度顯示	電子式真空度顯示		電子式真空度顯（xiǎn）示
工作環境溫（wēn）度	＋5～40℃		＋5～40℃
內膽尺寸（cùn）(mm)W×D×H	400×400×400	450×450×450	400×400×400	450×450×450
外形尺寸(mm)W×D×H	600×570×1390	610×590×1350	600×570×1390	610×590×1350
擱板	2塊		2塊
加熱方式	內膽加熱		內膽加熱
工作室材料	316不（bú）鏽鋼		316不鏽鋼（gāng）

※性（xìng）能參數測試在空載條件下為：環境溫度20℃，環境濕度50%RH

注：外殼（ké）可定製為304不鏽鋼材（cái）質

選購件：（增加選購件交貨期7天）

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